20μm透明叉指電極石英玻璃電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測
| 【編號】BK2021012710 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012710 | 【規(guī)格】 | ||
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20微米透明叉指電極石英玻璃氣體濕度生物傳感器芯片MEMS高精度
1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.7mm.
2.線寬: 20um，線距: 20um，指長: 2.1mm，叉指對數(shù): 50(100指).3.電極襯底為石英玻璃，雙面拋光，全透明;
4.金屬層結(jié)構(gòu): Cr/Au，厚度分別為30nm，100nm;5.電極使用溫度范圍: -150℃~400°C ;
6.主要用于各類化學,物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。7.大尺寸，大焊盤，好操作。
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1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.7mm.
2.線寬: 20um，線距: 20um，指長: 2.1mm，叉指對數(shù): 50(100指).3.電極襯底為石英玻璃，雙面拋光，全透明;
4.金屬層結(jié)構(gòu): Cr/Au，厚度分別為30nm，100nm;5.電極使用溫度范圍: -150℃~400°C ;
6.主要用于各類化學,物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。7.大尺寸，大焊盤，好操作。
我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材(氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅)，不同工藝(厚膜工藝，PCB工藝，MEMS工藝)。
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