10μm透明叉指電極石英玻璃電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測
| 【編號】BK2021012708 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012708 | 【規(guī)格】 | ||
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10微米透明叉指電極石英玻璃氣體濕度生物MEMS
1.外形尺寸: 6mm*12mm*0.5mm.
2.線寬:10um，線距:10pm，指長:3.7mm叉指對數(shù): 100(200指).
3.電極襯底為石英玻璃，雙面拋光，全透明;4.金屬層結(jié)構(gòu): Ti/Au，厚度分別為30nm，100nm;5.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃;
6.主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器,性能可靠,質(zhì)量穩(wěn)定。7.量大價格從優(yōu)。
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1.外形尺寸: 6mm*12mm*0.5mm.
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3.電極襯底為石英玻璃，雙面拋光，全透明;4.金屬層結(jié)構(gòu): Ti/Au，厚度分別為30nm，100nm;5.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃;
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我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET 柔性材料，單晶硅)，不同工藝(厚膜工藝，PCB工藝，MEMS工藝)。
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