鉑金叉指電極電化學光電檢測氣體生物傳感器MEMS
產品一:指間距10微米
1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.5mm.
2.線寬: 10um,線距:10um,指長:2.1mm,叉指對數:75(150指).3.電極襯底為石英玻璃,雙面拋光,全透明;
4.金屬層結構:Ti/Pt,厚度分別為30nm,100nm;5.電極使用溫度范圍:-150℃~400℃;
6.主要用于各類化學,物理及醫療傳感器,性能可靠,質量穩定。
產品二:指間距50微米
1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.5mm.
2.線寬: 50um,線距: 50um,指長: 2.1mm,叉指對數:20(40指).3.電極襯底為石英玻璃,雙面拋光,全透明;
4.金屬層結構:Ti/Pt,厚度分別為30nm,100nm;5.電極使用溫度范圍:-150℃~400℃;
6.主要用于各類化學,物理及醫療傳感器,性能可靠,質量穩定。
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