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柔性PET叉指電極IDE醫療生物氣體濕度傳感器芯片電容陣列
1.基材:聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET),厚度75um,外形尺寸3mm*3mm。2.線寬90um,線距110um,指長1.8mm;叉指對數:5對(10指)。3.金屬層結構 Cu/Ni/Au,厚度分別為12um,1um,1um。
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