3μm硅基叉指電極電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測(cè)高穩(wěn)定性
| 【編號(hào)】BK2021012608 | 【CAS號(hào)】cas | ||
| 【貨號(hào)】BK2021012608 | 【規(guī)格】 | ||
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1.外形尺寸:6.5mm*4mm*0.52mm.
2．線寬:5 u m，線距:3 u m，指長(zhǎng):1.6mm，叉指對(duì)數(shù):75(150指).
3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長(zhǎng)二氧化硅，厚度為300nm;
4．金屬層結(jié)構(gòu):Ti/Au，厚度分別為30nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍: -150℃～500℃;
6．主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。7．量大價(jià)格從優(yōu)。
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