20μm硅基叉指電極電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測高穩(wěn)定性
| 【編號】BK2021012606 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012606 | 【規(guī)格】 | ||
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1.外形尺寸:4mmr6.5mm*0.52mm.
2．線寬:20 um，線距:20 um，指長: 1.6mm，叉指對數(shù):30(60 指).
3.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長二氧化硅，厚度為300nm;
4．金屬層結(jié)構(gòu):Ti/Au，厚度分別為30nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃～500℃;
6．主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。
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