1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.線寬:12 u m,線距:8 u m,指長: 1.5mm,叉指對數(shù):60(120指).3.電極襯底為單晶硅,硅片表面生長Si02,厚度為300nm;
4.金屬層結(jié)構(gòu):Cr /Au,厚度分別為10nm,100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃;
6.主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器,性能可靠,質(zhì)量穩(wěn)定。7.量大價格從優(yōu)。
我們提供各種叉指電極,包括不同形狀,不同尺寸,不同線寬線距,不同基材(氧化鋁陶瓷,PI/PET柔性材料,單晶硅),不同工藝(厚膜工藝,PCB工藝,MEMS工藝)。
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