數 量:
1、基材:氧化鋁陶瓷;外形尺寸:20mm*10mm。
2、線寬:100 um,線間距:150 u m,指長:6.3mm。叉指對數:20對(40指)。
3、金屬層結構:Ti/Cu/Ni/Au,厚度分別為:0.1 u m、2u m、1 u m、1 u m。
4、適用溫度:-150℃~350℃。
我們提供各種叉指電極,包括不同形狀,不同尺寸,不同線寬線距,不同基材(氧化鋁陶瓷,PI/PET柔性材料,單晶硅),不同工藝(厚膜工藝,DPC工藝,MEMS 工藝)。
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